オキサイドが反発、溶液成長法による６インチｐ型ＳｉＣウエハーの試作に成功

by ライブドアニュース編集部

ざっくり言うと

この記事の見出しと要約はライブドア社が開発したAIにより自動生成されたものです。実験的な機能のため、記事本文と併せてご確認ください。
  • オキサイドが16日、6インチp型SiCウエハーの試作に成功したと発表した
  • 名古屋大学で長年培われてきた「溶液成長法」を基盤技術として開発
  • 従来の昇華法に比べ、原理的に欠陥なく高品質な単結晶育成が可能という
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