MECCANISMO・LAB株式会社MECCANISMO・LAB株式会社（本社：茨城県つくば市、代表取締役：加藤友規）は、国立研究開発法人物質・材料研究機構（以下、NIMS）が開発・保有する低温・大気圧接合技術（※特許登録）をベースに、6インチウエハに対応した全自動ウエハ接合装置を開発し、実機にて接合が成立することを確認しました。 本装置は、蒸気を含有したN2環境下での紫外線照射および極薄架橋形成から、低温・大気圧環境で