蛍光X線分析装置とは 蛍光X線分析装置は、X線蛍光（XRF）現象を利用して試料中の元素組成を特定する分析装置である。試料にX線を照射すると、原子内電子が励起・放出され、その際に発生する固有エネルギーの蛍光X線を検出器で測定することで、元素ごとの定性・定量分析を実現する。 蛍光X線分析装置は前処理が少なく、迅速かつ高精度な測定が可能である点が特徴であり、特に多元素同時分析に優れる。近年は検出器性能の