ＭＥＭＳ技術を活用して量産を始めた超音波センサー「ＣＨ―１０１」

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　ＴＤＫは微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術を活用した業界最小の超音波センサー「ＣＨ―１０１」の量産を始めた。超音波を発して跳ね返り時間を測定し、対象物との距離を算出する「タイム・オブ・フライト（ＴｏＦ）」方式を採用。ガラスなどの透明な対象物を含め、大きさや色に左右されずに正確に距離を測定できる。

　３・５ミリメートル角の１チップサイズに超音波の送信・受信機と後工程の信号処理部を格納。掃除ロボットなどに使われる通常の超音波センサーと比べ体積で１０００分の１の小型化を実現した。小型の電子機器、拡張現実（ＡＲ）／仮想現実（ＶＲ）、ロボティクス、飛行ロボット（ドローン）、車載などでの利用を想定する。

　ＴＤＫの１００％子会社チャープ・マイクロシステムズ（カリフォルニア州）のブランドで発売した。「ＣＨ―１０１」は台湾のパートナー企業に委託生産。価格は個別見積もり。

　測定距離は１メートルまでで、精度誤差は１ミリメートル以下。測定距離が最大５メートルの「ＣＨ―２０１」もサンプル出荷を始めた。年内に量産し、出荷を始める見通し。