―微細化と3次元積層化が一段と進展、エッチング装置ではゲームチェンジの好機到来― 「日の丸半導体」で世界に圧倒的な存在感を示してきた日本企業の姿も今や昔。グローバルの主要メーカーといえば米国や韓国、台湾勢が占める状況だ。しかし海外企業の先端半導体 の進化には、日本が蓄積した要素技術が活躍する場がなお残されている。今回は市場が注目する半導体製造技術の最新動向に焦点