ナノ精度の非接触プラットフォーム エアベアリングステージは、非接触の空気軸受を利用して高精度・高剛性の直線運動および回転運動を実現する位置決め装置である。摩擦や機械的摺動を排除することで極めて低い振動・摩耗・バックラッシュを実現し、ナノメートルレベルの精度での位置決めを可能にする。半導体製造装置、精密光学測定機器、微細加工装置、研究開発用途において、安定した高精度制御が求められる