ダイヤモンド結晶、クラックなしで１立方cmに成長

　産業技術総合研究所先進パワーエレクトロニクス研究センターの山田英明主任研究員と竹内大輔総括研究主幹らは、ダイヤモンドの結晶をクラックを発生させずに１立方センチメートルサイズまで成長させることに成功した。ダイヤモンド大型ウエハーの製造につながる。パワー半導体やスピントロニクスデバイスなどへの応用が開ける。

　原料ガスを供給してプラズマで分解し、炭素原子を規則的に並べて結晶を成長させた。従来は１ミリメートルに満たない膜厚でクラックが入ってしまったが、今回２ミリ―５ミリメートルまでクラックが入らずに結晶が成長する。この結晶を種結晶としてダイヤモンドのウエハーを製造できるようになる。内閣府の戦略的イノベーション創造プログラム（ＳＩＰ）として実施した。