韓国向けフッ化水素83%減、日本は規制強化後初の輸出許可か
一方、日本政府は半導体の製造過程で用いられるフッ化水素の韓国への輸出を規制強化後初めて許可したと、ロイター通信など複数のメディアが報じた。
先に許可したレジストは半導体の回路パターンを転写する工程に使う。極端紫外線(EUV)光源など最先端プロセス向けの材料で、本格的な量産に至っておらず、そもそも韓国の半導体メーカーへの影響は少ないとみられる。一方、残る対象のうち、フッ化水素は現行のプロセスで多用し、しかも保管・貯蔵が難しいことから、輸出許可が出ないと生産計画の変更を迫られることになる。
半導体材料3品目のうち、フッ化ポリイミドとレジストの2品目は貿易統計上、複数品目にまたがっており、財務省は数量や金額が集計できないとしている。
