半導体製造の心臓部を結ぶ大気輸送システム 大気輸送システムは、半導体製造ラインにおいて、ウェーハ（シリコンまたはフォトマスク等）を、保管キャリア（FOUP、カセット等）から加工装置、検査機器、計測機器まで、クリーンな大気環境下で自動搬送するための制御装置および搬送メカニズムである。大気輸送システムにはロードポート、ウェーハ搬送ロボット、アライナー、環境制御モジュ&#12