ボンデッドスリットバルブとは ボンデッドスリットバルブ（Bonded Slit Valve Door）は、完全な真空バルブではなく、ロードロック、トランスファーチャンバー、プロセスチャンバー間を接続するドアプレート型シールアセンブリである。従来のOリング構造とは異なり、高純度FFKM、FKM、PTFE系エラストマーをアルミニウムまたはステンレス基材へ直接接合または加硫することで、摩耗粒子発