日本の半導体製造装置メーカーが設備投資を積極化している。東京エレクトロンやSCREENホールディングス（HD）など主要7社の2017年度の設備投資は、16年度比65％増の1186億円となる見通し。IoTなどの普及に伴い、主流の直径300ミリメートルウエハーを加工する装置の需要が増加し、同200ミリメートルウエハー向けの中古装置も枯渇している。各社は旺盛な需要に応えようと、生産体制の整備を急ぐ。アドバンテストは増産に備え、18