レビュー SEM 機器は欠陥再検査装置（DR-SEM）とも呼ばれ、電子ビーム検査装置のカテゴリーに属する。電子ビーム検査装置には、DR-SEM のほかに、電子ビーム欠陥検出装置（EBI）も含まれる。 レビュー SEM 機器は、従来の走査型電子顕微鏡（SEM）の画像取得機能と自動化欠陥再検査システムを統合したハイエンド装置であり、半導体ウェーハ製造、フォトマスク検査、高精密デバイス生