米国ニューヨーク州立大学Polytechnic Institute(SUNY Poly:ニュ―ヨーク州Albany)は2月9日(米国時間)、GLOBALFOUNDRIES(GF)と共同で新たにEUVリソグラフィの実用化を目指す研究センター「AdvancedPatterning and Productivity Center(APPC)」をSUNY Poly傘下の「Colleges of Nanoscale Science and Engineering(CNSE)」キャンパス内に設置したと発表した。予算は5億ドルで、5年契約のプログラムにより、EUVリソグラフィの半導体
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