フェローテックホールディングスが５日ぶりに反発している。前週末２日の取引終了後、半導体製造装置用の金属ベローズ（じゃばら）や真空バルブの開発・製造を行う入江工研（東京都千代田区）と、中国の半導体製造装置メーカー向け真空バルブ製品などの製造・販売を行う合弁会社を設立したと発表しており、好材料視されている。 新会社「安徽入江富楽徳精密機械」は、入江工研が有する高度な