中国のリソグラフィー装置はASMLに15年遅れRecord China

中国のEUV技術、ASMLに15年遅れ＝UBSが報告書で指摘-シンガポールメディア

by ライブドアニュース編集部

ざっくり言うと

この記事の見出しと要約はライブドア社が開発したAIにより自動生成されたものです。実験的な機能のため、記事本文と併せてご確認ください。
  • UBSが中国の半導体EUV技術はASMLに15年遅れとの報告書を発表した
  • 中国はASMLの2004年水準にとどまり、10年以内の代替確立は困難とのこと
  • 一方でDUV露光装置は2～5年以内に大規模製造能力を得る可能性が高いという
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