半導体でシリコンといえば、まずウエハーを思い浮かべるだろう。実は、製造プロセスでもシリコン素材がにわかに注目されている。背景に、業界の取り巻く事業環境と新しい技術の潮流がある。半導体の下地となるのがシリコン製のシリコンウエハーだ。半導体製造の前工程はウエハー上に微細な加工など物理的・科学的なプロセスを経て大規模集積回路（LSI）チップを作る工程となる。厳重に管理されたクリーンルームでの製造プロセ