SCREENの新棟始動、半導体装置を一貫製造

　ＳＣＲＥＥＮホールディングスは、半導体製造装置事業で取り組む生産改革の要となる新棟「Ｓキューブ３」を彦根事業所（滋賀県彦根市）に設け、テスト生産を始めた。小型部品組み立てからの一貫製造、物流機器によるジャストインタイムの部品配膳、性能検査刷新などが目玉で、納期を現状比３割減の約６０日に短縮する。２０２０年度の本格稼働を計画する。

　従来と異なる発想で工程設計を見直し、併せて構内物流の自動化を追求して生産性を高める。天井走行無人搬送システム（写真）や大型自動倉庫などを用いた部品配膳は、物流機器大手の村田機械が協力した。

　従来は巨大な装置に組み上げて性能検査を行い、再度モジュール単位にばらして出荷していた。新棟はサイズ２―３メートル四方のモジュール単位の出荷前検査が前提のレイアウト。すでに了承を得た顧客向けは、モジュール単位で検査し顧客先で初めて最終組み立てを行うスタイルに転換した。新棟の取り組みは既存棟へ順次展開する。

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