NTTと産業技術総合研究所は、原子の核磁気共鳴の周波数を微小電気機械システム(MEMS)で制御することに成功した。原子核の回転軸がぶれながらコマのように回る周波数を、機械的にコントロールする。この変化を利用した量子メモリーや量子センサーへの応用を目指す。ガリウム・ヒ素の結晶を加工し、両端が固定された板バネ構造のMEMSを作成した。このバネを振動させると固定端にひずみが生じる。