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アライメントステーション「Litho Booster 1000」を発売Digital PR Platform

アライメントステーション「Litho Booster 1000」を発売

by ライブドアニュース編集部

ざっくり言うと

この記事の見出しと要約はライブドア社が開発したAIにより自動生成されたものです。実験的な機能のため、記事本文と併せてご確認ください。
  • ニコンが半導体向けアライメントステーションの新製品を発表した
  • 「Litho Booster 1000」は計測精度を約35%、生産性を約10%向上させ
  • 2027年1月に発売予定で、3D構造のウェハ貼り合わせ工程に対応する
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