1000℃に耐える圧電素子の商機
圧電セラミックスの粉と圧電ゾルゲル溶液を混合して塗布し、焼成して圧電膜を作成する。電流を流すと振動し、特定の周波数の超音波を発する。ニオブ酸リチウム製の圧電膜は1000度Cに耐えられる。既製品は600度Cだったという。
圧電膜は力をかけると電圧を出力し、圧力センサーとして利用できる。1ニュートンの力がかかると25ミリワットの電力を出力する。圧電膜が薄いため、柔軟に曲げられる。手で折り曲げて1万回の曲げ耐久性を確認した。
塗布で圧電膜を作れるため、基材の種類や曲面形状など設計の自由度が高い。複数の圧電素子を並べてセンサーアレイを作成する。ロボットの皮膚センサーにも応用できる。
