市販切削工具を100倍鋭くできる技術の仕組み
SiC単結晶の研磨には、共同開発者の江龍修名古屋工業大学教授のCMPに関する技術を用いた。派生事業として、市販工具の改良に着目し、ノウハウを応用した。CMPで一般的な液体砥粒(とりゅう)ではなく、固定砥粒を使用。3DCMPが砥石(といし)の役割を果たし、刃先の細かな凹凸をなくすことができた。
航空機部品に使われるチタンやインコネルは歪みが起きないよう時間をかけて加工するという。3DCMPで改良したチップなら切削抵抗が小さいため加工時間を短縮できる。
