JSRとimecが進めてきたベルギーのEUVフォトレジスト製造ラインが完成

JSRは3月2日、imecと2015年末にベルギーで設立した合弁会社「EUV Resist Manufacturing & Qualification Center(EUV RMQC)」が進めてきたEUVフォトレジスト製造設備が完成したことを発表した。

imecはEUVの実用化に向けた研究を進めているが、量産設備と品質保証体制の確立が必須となっている。今回の施設は、クリーンルーム環境下に4台の量産タンクを設置、訓練されたスタッフにより運営されるというもので、JSRとimecでは、両社の強みを生かすことで、先端プロセスの活用を目指す半導体産業に向けてEUVリソグラフィの材料技術の提供を行っていくとコメントしている。