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【画像】【レポート】5nmプロセスノード以降の実現に向けて - imec、有機単分子膜の自己組織化による超多孔質low-k膜のシール手法を開発
【レポート】5nmプロセスノード以降の実現に向けて - imec、有機単分子膜の自己組織化による超多孔質low-k膜のシール手法を開発
2015年7月17日 12時18分
マイナビニュース
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