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Analog Devices(ADI)は5月10日、高い周波数においても低ノイズ性能を発揮することで、振動を高分解能で計測し、機械設備や機器の不具合の早期検知を可能にする3軸MEMS加速度センサ「ADXL356/357」を開発したと発表した。

2製品ともに、レンジ範囲は±40g/±20g/±10g、3軸のノイズ密度は80μg/√Hz、3軸の温度ドリフトは0.75mg/℃(最大)で、ADXL356が3軸のアナログ出力、ADXL357が3軸のデジタル出力をそれぞれ備える。

また、ADXL357には20ビットのΔΣ型のA/Dコンバータを内蔵しているほか、外部のタイミングクロックを用いることで、複数の同期サンプリングを行うことが可能な機能も搭載されている。

パッケージにはセラミックス中空パッケージであるハーメチックパッケージを採用することで、耐環境性を向上。IoT的なワイヤレス経由での機器監視などに向いているとする。

なお、いずれもすでに量産出荷を開始しており、1000個受注時の単価はADXL356が28.60ドル、ADXL357が31.78ドルとなっている。

(小林行雄)