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日立製作所は、同社子会社である日立茨城テクニカルサービスが手がけるイオンビーム応用装置製造事業を、2017年2月1日付けで、ワイエイシイ(YAC)に譲渡することで合意した。

同装置事業は、独自のバケット型イオン源技術を用いて微細加工を行うドライエッチング装置などを手がけてきており、MEMSやセンサ、パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイスなどで活用されてきた。

一方のYACはFPD向けエッチング装置や半導体用ハンドラ、レーザーアニールなど幅広く半導体を中心とした製造装置を手がけてきており、今回の譲渡を受けて、同社では、イオンビームミリング装置の進化とコア技術であるプラズマエッチング技術、レーザーエッチング技術とのシナジー効果を図ることで、事業の発展を目指すとしている。

なお、イオンビーム応用装置の販売とサービスについては、日立ハイテクソリューションズなどが引き続き担当する予定だという。