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12月14日から16日にかけて東京ビッグサイトにて開催されているエレクトロニクス製造サプライチェーン総合展示会「SEMICON Japan 2016」の特別展「WORLD OF IOT」において、三重富士通セミコンダクター(MIFS)のブースでは、同社が提供する各種ファウンドリプロセスの紹介に加え、三重県の協力の下、同県の魅力を届けるプレゼンテーションなどが行われている。

三重県にある同社の300mmウェハ工場は、富士通セミコンダクターから引き継いで操業を行ってきたもので、製造能力は月産3万5000枚とロジックファウンドリとしては日本最大級であり、プロセスとしては90nmから40nmまで対応している。

そんな同社が今回、特にフォーカスして紹介を行っていたのはカーボンナノチューブ(CNT)を用いた不揮発性メモリ「NRAM」および、車載品質の提供の2点。NRAMは米Nanteroが技術を開発したものだが、同社からライセンスを受け、55nmプロセスを用いたNRAM混載LSIの開発を進めているという。NRAMは、CNT同士の物理的な距離を調整することで、抵抗値を制御する、というもので、セット動作(低抵抗状態)は負荷圧印加に伴う静電力によって隣接するCNTを接触させる一方、リセット電圧(高抵抗状態)は正電圧を印加しCNT振動を励起することで隣接するCNTを離すことで1と0の状態を判定する。電源を切っても状態を維持する不揮発性メモリの特性を有しており、微細プロセスにも適用可能だと言う。

一方の車載品質への取り組みとしては、同工場の特徴である災害時でも操業を止めないさまざまな工夫や各種の国際認証の取得のほか、工程管理や限定された装置での製造、主要工程での欠陥検査、トレーサビリティといった製造管理、高温対応PDK/ライブラリや高精度SPICEモデル、車載品質向けDFMルールといった車載品向け設計環境の提供などを掲げている。

また、同社ブースでは、上述のとおり、三重県そのものの魅力を伝える展示や同県にちなんだクイズなども行われており、回答者には三重県産物の記念品をプレゼントするといった取り組みも行われている。

(小林行雄)