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12月14日から16日にかけて東京ビッグサイトにて開催されているエレクトロニクス製造サプライチェーン総合展示会「SEMICON Japan 2016」において、ミニマルファブは120mのエアシューターを構築し、ハーフインチウェハの搬送デモなどを行っている。

これは、ミニマルファブのブースと、ディスコのブースをミニマルエアシューターでつなぎ、各ブース間でそれぞれの処理を行うというもの。ミニマルファブにも参加しているディスコ側から提案があった模様で、建屋間の搬送といったイメージで作り上げたという。また、エアシューター自体も、到着時にそのままの勢いだとウェハが破損するリスクがあるため、着地時にスローダウンさせる工夫も施されるなど、なかなかに芸が細かい作りとなっている。おそらくSEMICON史上、最長のデモであると考えられ、一見の価値があるといえる。

このほか、同ブースでは、毎年、会期中に実際のデバイス製造に挑んできているが、今年はpMOSFETの45工程を3日間で実施する予定のほか、実際にFETをパッケージングして、光センサと組み合わせたデモを見ることもできる。

また、ミニマルファブに参加している複数のブースを巡るスタンプラリーも開催されており、すべてのスタンプを集めると、抽選でミニマルウェハにリソグラフィでレジスト焼付を行ってくれる、というサービスも行っている。

(小林行雄)