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テクトロニクス(テクトロ)は10月26日、ケースレーのS540型パワー半導体テスト・システムを発表した。

S540型は、完全自動、48ピン対応のパラメトリックテストシステムで、最大3kVのパワー半導体デバイスのウェハレベルのテストを実施できる。SiC、GaNなどの化合物パワー半導体材料での使用に適しており、一度のプロービングで高電圧、低電圧、容量テストをすべて実行することが可能。

ケーブルの再接続やプローブカードの変更なしに最高48ピンのパラメトリック測定が可能で、Ciss、Coss、Crssなどのトランジスタ容量も最大3kVまで測定できる。テスト出力機能としてはサブpAの測定性能が実現されており、高電圧のリーク電流が1秒以内に完全自動測定できる。

同社は、「多くの製造現場では、パワー半導体テストで低電圧テストから高電圧テストに切替える場合、テストセットアップをマニュアルで切り替える必要のある独自のハイブリッドテストシステムでテストしています。このため、手順が増え、製造スピードが低下します。これに対し、S540型は完全統合ソリューションであり、数多くのデバイスをすばやくテストしなければならない製造環境に最適です」とコメントしている。

(周藤瞳美)