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日本ナショナルインスツルメンツ(日本NI)は7月7日、測定感度が10fA、電圧出力が最大200VのSMU「NI PXIe-4135」を発表した。

同製品では、微小な電流信号の測定が可能なほか、PXI(PCIeXtensions for Instrumentation)対応SMUならではの高いチャンネル密度やスループット、柔軟性が特徴。1台のPXIシャーシに最大68チャンネルのSMUを収容することができ、複数のPXIシャーシを連結することで、数百チャンネルまでの拡張が可能。また、デジタル閉ループ制御に基づいて、特定のDUT(テストの対象となるデバイス)に対してSMUの応答を最適化できる技術が搭載されており、SMUの整定時間の低減や、高容量性負荷に対するオーバーシュートや発振の抑制を、ソフトウェアの操作を通じて柔軟に実行することができる。

また、ソフトウェアベースの対話式フロントパネルも備えており、基本的な測定や自動アプリケーションのデバッグが行えるほか、ドライバには、テストで使用するコード開発に役立つヘルプファイルや、ドキュメント、サンプルプログラムが用意されている。加えて、C言語、Microsoft .NET Framework、システム開発ソフトウェアである「NI LabVIEW」を含めたさまざまな開発環境に対応するプログラミングインタフェースも提供される。

同社は「NI PXIe-4135」について「ICのウェハに対するパラメトリックテスト、微小電流センサやICの材料研究や特性評価などのアプリケーションに対する強力なツールとなります」とコメントしている。

(神山翔)