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ケースレーインスツルメンツは9月28日、同社のパラメトリック・テスト・システム「S530シリーズ」のシステム・ソフトウェアの最新版「KTE(Keithley Test Environment) version 5.6」を発表した。

S530シリーズは半導体製造分野で使われており、標準のCMOS、バイポーラ、MEMS、その他関連する低電圧半導体プロセスで一般に使用される200Vシステム構成に加え、GaN、SiC、Si LDMOSパワー・デバイスの要求による、テストが難しいブレークダウン、リーク・テストのために最適化された、独自の1kVバージョンも提供されている。

今回のソフトウェアアップデートにより、測定時間が最大25%短縮されるため、ウェハレベルのテスト・スループットが向上することとなる。また、低電流測定のセトリング時間を短縮するシステムSMUの強化も含まれており、最新のケースレー・デジタル・マルチメータ(DMM)が統合されることにより、短時間での低電圧、低抵抗測定が行えるようになったという。